Láser excímero 1.000 Hz larga vida

Referencia MLA-MLI

Láser de excímero compacto con alta tasa de repetición para aplicaciones generales de marcado






Alexandre Besson
Business Unit Director
+33 5 57 10 92 84
a.besson@laser2000.fr
Solicitud de producto: Láser excímero 1.000 Hz larga vidaX



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DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO

Láseres de excímero compactos serie MLI (Excimer Laser series)

 

La moderna y compacta serie de láseres de excímero MLI la conforman fuentes láser UV a 193 nm o 248 nm, con altas energías de pulso de hasta 16 mJ y tasas de repetición de hasta 1000 Hz

 

Estos dispositivos compactos ofrecen los mejores tiempos de vida y fiabilidad del mercado. Además el tiempo de vida de la carga de gas es la mayor del mercado: dos meses normalmente, 4 semanas garantizadas

 

 

Con su perfil de haz homogéneo y estabilización de energía son ideales para aplicaciones exigentes. El software de control incluido y la simple conexión por USB permiten una rápida configuración y facillitan la integración.

 

Podemos ofrecerle además versiones OEM personalizadas con características individualizadas, basadas en los produictos estándar. Los integradores se beneficiarán de interfaces estandarizadas y de nuestro gran equipo de soporte.

 

Los modelos MLI con el sufijo "LC" presentan la posibilidad de refrigeración activa por agua (bien agua doméstica, o intercambiador de calor externo, no hace falta agua tratada) y así permiten operación continua estable a 100% de ciclo de trabajo.

 

Las longitudes de onda disponibles son 193 nm (gas: ArF - fluoruro de argón) y 248 nm (gas: KrF - fluoruro de kriptón). Otras lambdas están disponibles bajo petición.

Por favor consulte con nosotros para el soporte en la planificación e instalación de un sistema adecuado de suministro de gases.

 

El control se realiza mediante la interfaz USB, RS232 o conexión de fibra óptica en serie. Todos los paraámetros modificables (p.ej. tasa de repetición, voltaje de nbombeo, etc.) y el intercambio automático de gas se pueden implementar mediante el software suministrado.

 

Características:

Beneficios:

·         Rigid, industry grade design

®      High reliability

·         Corona Preionization

®      Homogeneous beam profile

·         Moderner Festkörperschaltkreis

®      Immediate availability, no aging

·         Tube Technology with higher gas capacity

®      Tube all metal sealed for extended lifetimes

·         Energy Monitor

®      Energy stabilizing

·         Compact Excimerlaser,

·         Single Phase

®      Easy to operate, easy to integrate

 

 

Especificaciones:

Parámetro

 

ArF

 

 

KrF

 

Wavelength (nm)

193

193

193

248

248

248

Max. repetition rate (Hz)

200

500

1000

200

500

1000

Stabilized Pulse Energy (mJ)

6

6

6

10

10

10

Stabilized avg. power (W)

1,2

3,0

6,0

2,0

5,0

10

Energy Stability (sigma, %)

2

2

2

2

2

2

Beam Dimensions (FWHM, V x H mm)

6x3

6x3

6x3

6x3

6x3

6x3

Beam Divergence (FWHM, V x H mrad)

2x1

2x1

2x1

2x1

2x1

2x1

Pulse Duration (FWHM) (ns)

5-10

5-10

5-10

5-10

5-10

5-10

 

Weight / Utilites / Dimensions

 

MLI

MLI-LC

Dimensons (L x B x H)

560 x 315 x 445 mm³

560 x 355 x 445 mm²

Weight

ca. 75 kg

ca. 80 kg

Downloads - Láser excímero 1.000 Hz larga vida

Excimer_Laser_Precision_Glass

Excimer Laser Precision Glass Marking

Descargar (379.45k)
MLase_MLI_Datasheet_EN.pdf

Datasheet MLase Excimer Laser

Descargar (1.45M)
Report_MLase_Excimelaser_for_FBG

Application and Performance Test Report for MLI 200 KrF

Descargar (236.44k)

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