Láser de excímero compacto con alta tasa de repetición para aplicaciones generales de marcado
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Láseres de excímero compactos serie MLI (Excimer Laser series)
La moderna y compacta serie de láseres de excímero MLI la conforman fuentes láser UV a 193 nm o 248 nm, con altas energías de pulso de hasta 16 mJ y tasas de repetición de hasta 1000 Hz
Estos dispositivos compactos ofrecen los mejores tiempos de vida y fiabilidad del mercado. Además el tiempo de vida de la carga de gas es la mayor del mercado: dos meses normalmente, 4 semanas garantizadas
Con su perfil de haz homogéneo y estabilización de energía son ideales para aplicaciones exigentes. El software de control incluido y la simple conexión por USB permiten una rápida configuración y facillitan la integración.
Podemos ofrecerle además versiones OEM personalizadas con características individualizadas, basadas en los produictos estándar. Los integradores se beneficiarán de interfaces estandarizadas y de nuestro gran equipo de soporte.
Los modelos MLI con el sufijo "LC" presentan la posibilidad de refrigeración activa por agua (bien agua doméstica, o intercambiador de calor externo, no hace falta agua tratada) y así permiten operación continua estable a 100% de ciclo de trabajo.
Las longitudes de onda disponibles son 193 nm (gas: ArF - fluoruro de argón) y 248 nm (gas: KrF - fluoruro de kriptón). Otras lambdas están disponibles bajo petición.
Por favor consulte con nosotros para el soporte en la planificación e instalación de un sistema adecuado de suministro de gases.
El control se realiza mediante la interfaz USB, RS232 o conexión de fibra óptica en serie. Todos los paraámetros modificables (p.ej. tasa de repetición, voltaje de nbombeo, etc.) y el intercambio automático de gas se pueden implementar mediante el software suministrado.
Características: | Beneficios: |
· Rigid, industry grade design | ® High reliability |
· Corona Preionization | ® Homogeneous beam profile |
· Moderner Festkörperschaltkreis | ® Immediate availability, no aging |
· Tube Technology with higher gas capacity | ® Tube all metal sealed for extended lifetimes |
· Energy Monitor | ® Energy stabilizing |
· Compact Excimerlaser, · Single Phase | ® Easy to operate, easy to integrate |
Especificaciones:
Parámetro |
| ArF |
|
| KrF |
|
Wavelength (nm) | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
Max. repetition rate (Hz) | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
Stabilized Pulse Energy (mJ) | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
Stabilized avg. power (W) | 1,2 | 3,0 | 6,0 | 2,0 | 5,0 | 10 |
Energy Stability (sigma, %) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
Beam Dimensions (FWHM, V x H mm) | 6x3 | 6x3 | 6x3 | 6x3 | 6x3 | 6x3 |
Beam Divergence (FWHM, V x H mrad) | 2x1 | 2x1 | 2x1 | 2x1 | 2x1 | 2x1 |
Pulse Duration (FWHM) (ns) | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-10 |
Weight / Utilites / Dimensions
| MLI | MLI-LC |
Dimensons (L x B x H) | 560 x 315 x 445 mm³ | 560 x 355 x 445 mm² |
Weight | ca. 75 kg | ca. 80 kg |
Application and Performance Test Report for MLI 200 KrF
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